德研究用等离子紫外线加工芯片

研究人员克劳斯·贝尔格曼说，这一等离子体紫外线光源的功率可以达到100兆瓦，是目前世界上同类光源中功率最大的。它负荷稳定，而且发光重复频率可以达到数千赫兹，这些特性在应用中有特别重要的意义。